Ionsugár kúpok

A SIKAIDA ionsugár kúpjai az ionsugár beültetési és átviteli rendszerek központi elemei. Nagy tisztaságú, fejlett kerámia anyagokból készültek, és precíziós fröccsöntéssel és magas hőmérsékletű szinterezéssel dolgozták fel, rendkívül alacsony szennyeződéstartalommal, magas hőmérséklet-állósággal és stabil méretpontossággal rendelkeznek. Bonyolult geometriájú megmunkálásával rendkívül magas tűréskövetelményeket teljesíthetnek, így alkalmasak nagy teljesítményű félvezető ion beültetési eljárásokra.

Professzionális kínai gyártóként a SIKAIDA megbízható, költséghatékony és testreszabható ionnyaláb kúpokat kínál ügyfeleinek világszerte a félvezetők, lapos kijelzők, optika, mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS) és napenergia területén. A SIKAIDA a csúcsminőségű ionsugaras folyamatelemek megbízható, hosszú távú beszállítója és elkötelezett gyártóüzeme.

Anyagok és gyártás

1. Anyagok

Az Ion Beam Cones olyan anyagokat használ, mint a 99,9 ≥ tisztaságú alumínium-oxid (Al2O3), ≥99,5 tisztaságú szilícium-nitrid (Si3N4), cirkónium-oxid (ZrO2), amelynek tisztasága ≥ 99,8% (.99%) és f) 99,9%-os. Minden anyag megfelel a félvezetőipar szigorú tisztasági szabványainak, és alkalmas a különféle alkalmazások teljesítménykövetelményeinek kielégítésére.

2. Gyártási folyamat

A gyártási folyamat magában foglalja a precíziós fröccsöntést, a magas hőmérsékletű szinterezést, a CNC precíziós megmunkálást, a tükörszintű polírozást, valamint az automatizált tisztítást és tesztelést. Mindegyik folyamatot szigorúan ellenőrzik a pontosság és a minőség érdekében, hogy a végtermék megfeleljen az ipari szabványoknak és a vevői követelményeknek.

Főbb termékparaméterek

1. Méretpontosság

Az ionnyaláb kúpok tűrése ±0,05 mm-en belül szabályozható, felületi érdesség Ra≤0,4 μm, belső furatkúpos pontosság ±0,02 mm, koaxialitás ≤0,03 mm és merőlegesség ≤0,02 mm. Ez a rendkívül nagy méretpontosság hatékonyan biztosítja az ionsugár átvitel pontosságát.

2. Felületkezelés

A felületkezelések közé tartozik a mechanikus polírozás a tükörfényezés érdekében, az UV-re keményedő bevonatok a felületi tulajdonságok javítására, a karcálló bevonatok a kopásállóság javítására, valamint a savas pácolás és passziválás a szennyeződések eltávolítására és a stabilitás javítására. A megfelelő kezelési módszerek az alkalmazási követelmények alapján választhatók ki.

3. Teljesítménymutatók

Az ionsugár kúpok -196 ℃ és +800 ℃ közötti hőmérsékleti tartományban működnek, biztosítva a stabil működést szélsőséges hőmérsékleti környezetben. Térfogat-ellenállásuk ≥10¹⁴Ω·cm és felületi ellenállásuk ≥10¹²Ω, kiváló szigetelési tulajdonságokkal rendelkeznek. Kimagaslóan ellenállnak a plazma- és kémiai korróziónak is, lehetővé téve számukra, hogy alkalmazkodjanak az összetett folyamatkörnyezetekhez.

Alapvető előnyei

1. Ultra-nagy tisztaság: A nyersanyag tisztasága meghaladja a 99,9%-ot, minimálisra csökkenti a félvezető lapkák szennyeződését, biztosítja az eszközök stabil elektromos teljesítményét, és megfelel a félvezetőgyártás szigorú tisztasági követelményeinek.

2. Rendkívül nagy geometriai pontosság: Egyenletes termékméreteket biztosít a tömeggyártás során, ±0,05 mm-es kúphibával és ≤0,02 mm-es kerekségi hibával, pontosan megfelelve az ionsugaras átviteli rendszerek telepítési és használati követelményeinek.

3. Tükörszerű felületminőség: Felületi érdesség Ra≤0,4μm, hatékonyan csökkenti az ionsugár szórását, javítja az ionsugár átvitel egyenletességét, és tovább optimalizálja a félvezető eszközök beültetési pontosságát.

4. Széles hőmérsékleti tartomány stabilitása: stabilan működik mély kriogén és magas hőmérsékletű környezetben. Az anyag rendkívül alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik, kiváló méretstabilitást tart fenn még hőmérséklet-változások mellett is, megakadályozva a hőmérséklet-ingadozások teljesítményét.

5. Kiváló szigetelés és korrózióállóság: Hatékonyan megakadályozza a töltés felhalmozódását az ionsugár átvitel során, és ellenáll az erős savaknak, erős lúgoknak és a különböző plazmakorrózióknak, így biztosítja a hosszú távú stabil működést összetett folyamatkörnyezetekben.

Testreszabott szolgáltatások

A termékmodellek és -méretek a különböző folyamatkövetelményeknek megfelelően testreszabhatók. A támogatott rajzformátumok közé tartozik az STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF és fizikai minták. Szállítási idő tekintetében a minta szállítása 4-7 hét, a kötegelt termék szállítása 8-12 hét. Minőségügyi rendszerünk megfelel az ISO9001:2015, az SGS RoHS, a REACH és a SEMI szabványoknak, átfogóan biztosítva a termékminőséget és a szállítási hatékonyságot.

Alkalmazási területek

Az ionsugárkúpokat számos területen széles körben használják, beleértve az ionimplantátorokat a félvezetőgyártásban, a feldolgozó berendezéseket síkképernyős kijelzőkben, az ionsugaras leválasztási (IBD) és az ionsugaras maratási (IBE) rendszereket az optikai eszközök gyártásában, a mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS) gyártásában, az ionadalékoló berendezéseket napelemekhez és az ionimplantációs folyamatokat, például a kétpólusú elektromos transzformátorokhoz. (IGBT) és tápellátási MOSFET-ek.

Gyakran Ismételt Kérdések:

1. kérdés: Milyen anyagokat használnak általában az ionsugárkúpokhoz?

A1: Elsősorban korszerű kerámia anyagokat használunk, mint például a nagy tisztaságú alumínium-oxid (Al2O3), a szilícium-nitrid (Si3N4) és a cirkónium-oxid (ZrO2). Ezek az anyagok rendkívül nagy tisztaságúak, kiváló magas hőmérsékleti ellenállással és stabil elektromos tulajdonságokkal rendelkeznek.

2. kérdés: Biztosíthat-e az UET testreszabott specifikációkat és felületkezeléseket? 

A2: Igen. Az UET testreszabhatja a kúpok méretét, kúposságát, anyagtípusát és felületkezelését a folyamat követelményei szerint. Széles körű gyártási tapasztalattal rendelkezünk, és meg tudjuk felelni az ügyfelek egyedi alkalmazási követelményeinek.

Q3: Hogyan garantálható az ionsugár kúpok pontossága és minősége?

A3: Elfogadjuk az ISO9001:2015 minőségirányítási rendszert, és nagy pontosságú vizsgálóberendezésekkel vagyunk felszerelve, beleértve a koordináta mérőgépet, a felületi érdességmérőt és a röntgen-fluoreszcencia spektrométert, hogy biztosítsuk, hogy minden terméktétel megfeleljen a szigorú ipari szabványoknak.

Q4: Mi a szállítási ciklus?

A4: A minta szállítási ciklusa 4-7 hét, a kötegelt termék szállítási ciklusa 8-12 hét. Az adott ciklus a termék összetettségétől és a rendelési mennyiségtől függ.